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成都高真请求套刻精衡量测符号及其运用方法与器材专利进步Scribe Line区域内进行套刻精衡量测的准确度

发布时间:2025-03-13 03:59:16   来源:星空体育官网app

  金融界2024年12月12日音讯,国家知识产权局信息数据显现,成都高真科技有限公司请求一项名为“套刻精衡量测符号及其运用方法与器材”的专利,公开号CN 119108381 A,请求日期为2024年10月。

  专利摘要显现,本请求归于半导体器材技术领域,详细公开了一种套刻精衡量测符号及其运用方法与器材。该套刻精衡量测符号在芯片边际区域选用DBO符号及IBO符号方法,有利于削减套刻精衡量测符号中运用的Scribe Line面积,而且进步Scribe Line区域内进行套刻精衡量测的准确度。

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